时间: 2025-03-30 14:52:45 | 作者: 粗中碎设备
（原标题：上海新阳：在北方集成的光刻机为ASML-1400，进行ArF验证开发）
同花顺（300033）金融研究中心02月12日讯，有出资者向上海新阳（300236）发问， 董秘您好，贵司在北方集成的光刻机正在验证的光刻胶是KRF，ARF仍是两种都有？
公司答复表明，敬重的出资者：你好！在北方集成的光刻机为ASML-1400，进行ArF验证开发。
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